原理：

利用超短脈沖/連續激光聚焦能量，使金剛石表面局部熔化(hua)、蒸(zheng)發(fa)或發(fa)生(sheng)相變（如(ru)石(shi)墨化(hua)），通(tong)過材料重(zhong)排或氣化(hua)降低粗糙度。

特點：

非(fei)接觸、高空間分(fen)辨(bian)率(lv)（微米(mi)級聚焦），適(shi)合三維復雜表面處理(li)； 

熱影(ying)響區(qu)易(yi)導致(zhi)微裂紋(wen)或殘余(yu)應(ying)力，需(xu)精確(que)控制(zhi)激光參數（波長、脈寬、功率）； 

適用于微納器件局部修形或超硬涂層拋光。