金融界 2024 年 8 月 4 日消息，天眼查知識產權信息顯示，浙江求是半導體設備有限公司,浙江晶盛機電股份有限公司申請一項名為“一種拋光設備“，公(gong)開號 CN202410874366.5，申(shen)請日期為(wei) 2024 年 7 月(yue)。

       專利摘要顯(xian)示，本申請涉及半導體拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)技術領域，尤(you)其是涉及一種拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)設(she)備及檢測(ce)方(fang)法，包括(kuo)：拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)具有工作面；拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)粘(zhan)接(jie)設(she)置(zhi)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)工作面上；以及檢測(ce)組(zu)(zu)件，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)檢測(ce)組(zu)(zu)件位于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)之(zhi)間(jian)，并連接(jie)于(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)或所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)上，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)檢測(ce)組(zu)(zu)件用于(yu)檢測(ce)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)之(zhi)間(jian)的(de)(de)間(jian)距并輸出(chu)。解決了(le)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)狀態(tai)無法檢測(ce)的(de)(de)技術問題，達到了(le)實時(shi)檢測(ce)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)(guang)墊(dian)(dian)及氣泡狀態(tai)的(de)(de)技術效果。